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                                        清華12英寸超精密晶圓減薄機進中國集成電路龍頭企業
                                        瀏覽次數:27次 發布日期:2021-10-18

                                        近幾年,美國對國內半導體企業打壓不斷升級,不僅禁止使用美國技術的晶圓代工廠為中國廠商提供生產制造服務,還限制先進半導體設備廠商向國內企業提供設備。作為國內理工科頂尖高校,近日由清華大學機械系 路新春教授帶領的清華大學成果轉化項目公司華海清科研發,首臺12英寸(300mm)超精密晶圓減薄機(Versatile-GP300)正式出機,發往中國國內某集成電路龍頭企業。該裝備是路新春教授團隊與華海清科股份有限公司(以下簡稱“華海清科”)繼解決中國在電路拋光裝備“卡脖子”問題后的又一突破性成果,將應用于3D IC制造、先進封裝等芯片制造大生產線,滿足12英寸晶圓超精密減薄工藝需求。

                                        (圖自:清華大學新聞網,下同)

                                        12英寸超精密晶圓減薄機是集成電路制造不可或缺的關鍵裝備。該裝備復雜程度高、技術攻關難度大且市場準入門檻高,長期被國外廠商高度壟斷,中國國內市場嚴重依賴進口。

                                        為了突破減薄裝備領域技術瓶頸,路新春教授帶領華海清科利用其在化學機械拋光領域產業化經驗,攻克晶圓背面超精密磨削、平整度智能控制、表面損傷及缺陷控制系列核心技術,研制出首臺用于12英寸3D IC制造、先進封裝等領域晶圓超精密減薄機,解決該領域“卡脖子”問題。

                                        面向國家集成電路產業發展布局,路新春教授團隊自2000年起開展化學機械拋光(CMP)基礎研究,承擔國家重大科技攻關任務十余項,成功孵化華海清科并研制出我國第一臺12英寸“干進干出”CMP裝備及系列產品,整體技術達到國際先進水平,實現28nm工藝量產,并具備14-7nm工藝拓展能力,創造了多項國產裝備紀錄。

                                        累計超過110余臺應用于先進集成電路制造大生產線,市占率、進口替代率均位居國產IC裝備前列。系列成果填補了國內空白,打破了國際巨頭壟斷,首次實現了國產拋光裝備的批量產業化應用。

                                        路新春教授團隊認為,大學在解決當前出現的關鍵核心技術“卡脖子”問題上應當大有作為,且以產業報國為己任,積極推進科研成果轉化,實現基礎研究和產業需求縱向貫通,孵化出華海清科股份有限公司,是目前中國唯一一家12英寸CMP商業機型的高端半導體設備制造商。

                                        (華海清科:清華大學化學機械拋光與減薄裝備技術產業化基地)


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